TEN株式会社東京エンジニアリング

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Products製品情報

19.電子・半導体 /

Oxidized film dry etcher

  • 機械名Oxidized film dry etcher
  • 主仕様6inch Non-SMIF Type

    POWER: 3PH 200V 100A / 1PH 200V CVCF 40A / 1PH 100V 10A
    GAS: DA, N2, Ar, CF4, He, CHF3, CO
    Cooling water : Mainbody, pump, chiller, generator rack
  • メーカーTEL
  • 現状解体済み(動作確認未)、欠品有(Unit sensor 2EA Missing)
  • 型式TE-8500
  • 在庫場所成田第二2F
  • 年式
  • 付属品
  • 在庫コードN9463
  • 価格
    (税込み)

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