株式会社東京エンジニアリング
Products製品情報
19.電子・半導体 / CMP,関連
ラップ定盤修正機
- 機械名ラップ定盤修正機
- 主仕様(D-process社にて改造) 1)定盤部 ・回転数:15〜100rpm、フェーシング時 150rpm ・ベースプレート受け⇒材質:SUS410 、寸法:Φ860×Φ120×t120mm ・重量:約92kg ・回転精度:面振れ 20μm(新品時) 2)溝入部 ・繰り返し溝入れ加工可能(切り込み量デジタル表示) ・切り込みバイト部エアーブロー/吸入機構 ・面精度:20μm以内(新品時目標値) 3)制御部 ・加工タイマー デジタル99m59s(加算式) ・定盤回転数:デジタル ・操作パネル:自動運転開始/取り消し/非常停止 ○ユーテリティー ・電気:3相AC200V/9kVA、単相AC100V 電気設備容量1.5kVA、ブレーカー容量15A/30mA ・エアー:0.5〜0.7Mpa,100NL/min,Rc3/8
- メーカー不二越機械工業
- 現状
- 型式SLM-285
- 在庫場所熊本工場
- 年式2008(2019年改造)
- 付属品修正定盤設置用移動台車、装置セット用リフト
- 在庫コードQ221
- 価格
(税込み)