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在庫コード
機械名
メーカー
型式
年式
主仕様
写真
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N9968
全自動SMIF POD洗浄システム
Hugle Electronics
UPC-8300
2001
8インチウエハー対応
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N9827
クリーンベンチ
日立空調システム
KMH
100V
50Hz
Phase1
Outer
size:
1000×865×1385
Chamber
...
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N9826
クリーンベンチ
日立空調システム
KMH
100V
50Hz
Phase1
Outer
size:
1000×865×1385
Chamber
...
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N9515
クリーン保管庫
棚板寸法:380x400mm
外寸:880x630x1820mm★
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N9461
Asher
Canon AlcanTech
MAS-801HR
6inch
Non-SMIF
Type
W:D:H
=
800:1950:1640
1.
3PH
200V...
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N9481
移載機
Hitachi
6inch
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N9480
Wire bonder(Au )
kaijo
FB-780
2007
Wire
bonder(Au
)
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N9478
Inspection microscopes
ニコン(Nikon)
VIR650
6inch
Power
cables
missing
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N9477
Etcher
TEL
TAC-3VVZWRG
2012
Tactras
12inch
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N9475
アッシング装置
東京応化
TCA-3400
6inch
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N9474
Silicon nitride film removal（WET）
DNS
WS-620
6inch
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N9472
Measurement equipment
IM-80 + LEICA INM100
6inch
イニシャライズ時エラーあり
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N9464
UV EXPOSURE SYSTEMS
USHIO
UMA-802-H55MT
6inch
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N9335
レジスト洗浄機
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N9341
クリーンハンドドライヤー
日本エアーテック
AHD-5
100V★
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NS1005
オゾン水製造装置
石森製作所
OWSC-2007A
2012
★
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NSK0007
パーティクルカウンター
RION
KC-03A1
None
Flow
late
3L/min
最小可測粒形0.3um
S/N:10700337
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NSK0006
パーティクルカウンター
RION
KC-01D1
None
Flow
late
0.5L/min 最小可測粒形0.3um
S/N:10690249
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NSK0004
6インチキャリアカセット
Nihon Entegris
CARR-PROC 6”NAT W/ST CUT
None
6インチ 68個在庫あり
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NS0070
パスボックス
外寸 幅1500×奥行1100×高さ2300
ボックス部寸法
幅900×奥行900×高さ700★
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N8153
チラー用フィルター
COLD TECHNOLOGY
LP-50
NXT50-100
その他4個在庫有り
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NS0061
ドライポンプ
荏原製作所
A10S
最大排気速度1200/1000ℓ/min★
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NS0058
ドライポンプ
樫山工業
SD90VⅢ
最大排気速度1500L/min★
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NS0053
ドライポンプ
荏原製作所
A10S
最大排気速度1200/1000ℓ/min★
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NS0052
ドライポンプ
荏原製作所
A10S
最大排気速度1200/1000ℓ/min★
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NS0051
ドライポンプ
荏原製作所
A10S
最大排気速度1200/1000ℓ/min
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NS0049
ドライポンプ
荏原製作所
A10S
最大排気速度1200/1000ℓ/min★
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NS0048
ドライポンプ
荏原製作所
AA10S
到達圧力1.0Pa 定格電流9.4A 最大排気速度1200/1000ℓ/min★
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NS0047
ドライポンプ
荏原製作所
AA10S
到達圧力1.0Pa 定格電流9.4A 最大排気速度1200/1000ℓ/min★
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NS0045
ドライポンプ
荏原製作所
AA10S
到達圧力1.0Pa 定格電流9.4A 最大排気速度1200/1000ℓ/min★
株式会社東京エンジニアリング
