Y1633

クリーンベンチ

日立空調システム

KMH

22台あり★

N10418

クリーンドラフト

セミコンクリエイト

SCC-540

1988

★

N10463

フリップチップボンダ

パナソニック

FCB3

2005

添付仕様参照★

N10447

CMP-LIFT

ALUM-A-LIFT Inc

A-800-69CRCS-CMP-00-000

2005

N10446

循環式チラー

Thermo Electron

HX 300

Recirculating
Chiller
★

N10445

循環式チラー

Thermo Electron

HX 300

Recirculating
Chiller★

N10444

循環式チラー

Thermo Electron

HX+300A

NESLAB
Recirculating
Chiller★

N10443

循環式チラー

Thermo Electron

HX+300A

NESLAB
Recirculating
Chiller★

Q10

枚葉式アッシング装置

アルバック

UNA-2000

1998

6インチ

N10398

バンプボンダ

新川

SBB-410

2004

ボンディング方式:超音波熱圧着によるボールボンディング方式
ボンディングエリア:□25mm
x
2ステージ
ワ...

N10396

FCマウンタ

Panasonic

KXF-343D FB35W-M

2004

★

N10353

スピンドライヤー

入江製作所

SCC-830

1989

テーブル:Φ580
カセットケース：幅104
高さ150
×2個
カセットケース：幅160
高さ150
×2個...

N10162

マニュアルマウンター

ディスコ(DISCO)

DFM-M200

★

N10158

クリーンベンチ

ヤマト科学

ADS-80

内寸法：W700D550H550★

Q3

真空ポンプ

荏原製作所

AA40W

★

Q2

真空ポンプ

荏原製作所

AA10

★

N9969

エアシャワー

日本バイリーン

VAS-0820NB-T-S

2006

外寸：1200*2000*2300Hmm
重量：570kg
三相200V
2120W
60Hz★

N9968

全自動SMIF POD洗浄システム

Hugle Electronics

UPC-8300

2001

8インチウエハー対応

N9827

クリーンベンチ

日立空調システム

KMH

100V
50Hz
Phase1
Outer
size:
1000×865×1385
Chamber
...

N9826

クリーンベンチ

日立空調システム

KMH

100V
50Hz
Phase1
Outer
size:
1000×865×1385
Chamber
...

N9515

クリーン保管庫

棚板寸法:380x400mm
外寸:880x630x1820mm★

N9461

Asher

Canon AlcanTech

MAS-801HR

6inch
Non-SMIF
Type
W:D:H
=
800:1950:1640
1.
3PH
200V...

N9481

移載機

Hitachi

6inch

N9478

Inspection microscopes

ニコン(Nikon)

VIR650

6inch
Power
cables
missing

N9477

Etcher

TEL

TAC-3VVZWRG

2012

Tactras
12inch

N9475

アッシング装置

東京応化

TCA-3400

6inch

N9474

Silicon nitride film removal（WET）

DNS

WS-620

6inch

N9472

Measurement equipment

IM-80 + LEICA INM100

6inch
イニシャライズ時エラーあり

N9464

UV EXPOSURE SYSTEMS

USHIO

UMA-802-H55MT

6inch

N9335

レジスト洗浄機

★