Q319

メカニカルブースターポンプNEW

エドワーズ

QMB250 60Hz

Q318

メカニカルブースターポンプNEW

エドワーズ

QMB250 50Hz

Q310

メカニカルブースターポンプNEW

エドワーズ

QMB250

Q317

ドライポンプNEW

エドワーズ

IQDP80(SYS)

★

Q316

チラーNEW

アメフレックス

TCW-2KCVLG-B

2012

★

Q315

チラーNEW

RISSHI

μEX-1102

★

Q314

ドライポンプNEW

荏原

AA20

★

Q313

ドライポンプNEW

エドワーズ

QDP40

★

Q312

ドライポンプNEW

エドワーズ

QDP80

★

Q309

ドライポンプNEW

エドワーズ

IQDP80(SYS)

★

Q308

磁気軸受型複合分子ポンプNEW

大阪真空機器製作所

TG2300MBWC-84

2009

・排気速度：2
300L/S（N2時)
・最終到達圧力：＞1×10-8
Torr
・重量：約76Kg
・高真空側...

Q307

ロータリーポンプNEW

エドワーズ

E2M18

★

Q305

オイルシール型ロータリーベーン真空ポンプNEW

エドワーズ

E2M40FF

・実効排気速度：733L/min(60Hz時)
・到達圧力：0.7Pa(ガスバラストバルブ開時)
・吸気口径：IS...

Q304

オイルシール型ロータリーベーン真空ポンプNEW

エドワーズ

E2M80

・到達圧力：0.7Pa(ガスバラストバルブ開時）
・実効排気速度：1
500L/min(60Hz時)
・吸気口径：...

Q306

ロータリーポンプNEW

エドワーズ

E2M18

・排気速度：416.7L/min(60Hz時)
・到達圧力：0.1Pa
・吸気フランジ：NW25
・オイル：鉱物油...

Q300

メカニカルブースターポンプNEW

エドワーズ

EH500A

・設定排気速度：10
073L/min(60Hz時)
・吸気口径：ISO100
・排気口径：ISO63
・質量：7...

Q302

メカニカルブースターポンプNEW

エドワーズ

EH500

・設定排気速度：10
073L/min(60Hz時)
・吸気口径：ISO100
・排気口径：ISO63
・モーター...

Q301

メカニカルブースターポンプNEW

エドワーズ

QMB250

・排気速度：375m2/h(60Hz時)
・吸気フランジ：ISO63
・排気フランジ：DN40
・オイル：PFPE...

Q299

ドライポンプNEW

エドワーズ

IQDP40(SYS)

2018

・到達圧力：5Pa
・排気速度：917L/min(60Hz時)
・吸気口：ISO40
・排気口：NW40

Q298

磁気軸受式ターボ分子ポンプNEW

エドワーズ

STP-XA2703BV3

2005

・排気速度：2
650L/S（N2時)
・到達圧力：10-7Pa（ベーキング後）
・冷却方法：水冷
・質量：約75...

Q297

磁気軸受型複合ターボ分子ポンプNEW

大阪真空機器製作所

TG2300MBWC-80

2005

・排気速度：2
300L/S（N2時)
・最終到達圧力：＞1×10-8
Torr
・重量：約76Kg
・高真空側接...

Q296

磁気浮上式ターボ分子ポンプNEW

ライボルト

MAG2000

・排気速度：1
550L/S（N2時)
・最終到達圧力：2×10＾-10mbar又は0.75×10＾-8
Torr...

Q295

磁気浮上式ターボ分子ポンプNEW

ライボルト

MAG2000

・排気速度：1
550L/S（N2時)
・最終到達圧力：2×10＾-10mbar又は0.75×10＾-8
Torr...

N12346

ワイヤーボンダー

SHINKAWA

UTC-300BI

2000

★

N12345

ワイヤーボンダー

SHINKAWA

UTC-475BI

2003

★

N12344

ワイヤーボンダー

SHINKAWA

UTC-2000

2007

★

N12343

ワイヤーボンダー

SHINKAWA

UTC-2000

2007

★

N12342

ダイボンダー

パナソニックFSエンジニアリング

DM60M-H

2003

N12271

チラー

DISCO

DTU162

2004

★

N12126

パーティクルカウンター

Met One

227B

1999